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1600℃ 真空/气氛管式炉CVD系统(CVD-TF)
时间：2016-10-25 点击：(4234)
CVD-TF16P50/60/80/100 CVD-TF16T50/60/80/100 CVD-TF16P60/80/100S CVD-TF16T60/80/100S
使用温度范围 300～1600℃ 温度控制精度 ±1℃ 管径φ50φ60φ80φ100
提供具有真空、可控气氛及高温的实验环境，应用在半导体、纳米技术、等纤维等领域
产品用途：
此款CVD生长系统适用于CVD工艺，如碳化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试、ZnO纳米结构的可控生长、陶瓷电容（MLCC）气氛烧结等实验。
■产品特点：
| 温区 | 单温区 | 双温区 | ||||||||
| 型号 |
CVD-TF16P50 |
CVD- TF16P60 |
CVD- TF16P80 |
CVD- TF16P100 |
CVD- TF16P60S |
CVD- TF16P80S |
CVD-
TF16P100S |
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| 性能 | CVD-TF16T50 |
CVD- TF16T60 |
CVD- TF16T80 |
CVD- TF16T100 |
CVD- TF16P60S |
CVD- TF16T80S |
CVD- TF16T100S |
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| 使用温度范围 | > 300~1600℃ | |||||||||
| 控温精度 | ± 1℃ | |||||||||
| 控温分辨率 | 1℃ | |||||||||
| 升温速率 | 0~20℃/min | |||||||||
| 加热区长度 | 260mm | 600mm | ||||||||
| 恒温区长度 | 120mm | 300mm | ||||||||
| 最大真空度 | -0.1MPa | |||||||||
| 空炉升温时间 | ＜15min | |||||||||
| 构成 | 外装 | 冷轧钢板，表面耐药品性涂装 | ||||||||
| 炉膛体 | 多晶莫来石纤维 | |||||||||
| 炉膛尺寸 | 440*390*330 | 780*390*330 | ||||||||
| 炉管 | 刚玉管 | |||||||||
| 炉管尺寸 | φ50*1000 | φ60*1000 | φ80*1000 | φ100*1000 | φ60*1200 | φ80*1200 | φ100*1200 | |||
| 加热器 | 硅钼棒 | |||||||||
| 加热功率 | 4KW | 4KW | 10KW | 10KW | ||||||
| 断热层 | 双层强制风导流 | |||||||||
| 控制 器 | 控制器 | P：进口程序控温数码显示； T：7寸彩色触摸屏程序控温 | ||||||||
| 控制方式 | 使用微型电脑PID控制 / S型双温区单独控温 | |||||||||
| 设定方式 | P：轻触五按键动作、数显设定； T：手指触摸轻点设定 | |||||||||
| 显示方式 |
P：双行LED数字显示； T：彩色液晶屏显示
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| 定时 | 0~999.9小时 | |||||||||
| 运行功能 | 定值运行、程序运行 | |||||||||
| 程序模式 | P：程序运行、4条曲线、共40步； T：最大50步 可调用储存程序 | |||||||||
| 传感器 | S型热电偶 | |||||||||
| 附属功能 | P：校正功能； T：校正功能、实时曲线记录、U盘数据导出 | |||||||||
| 安全装置 | 过流漏电保护开关 | 过流保护开关 | ||||||||
| 质量流量控制系统 | 气路数量 | 3路（可根据具体需要选配气路数量） | ||||||||
| 流量范围 | 0-0500sccm（标准毫升/分，可选配）氮气标准 | |||||||||
| 精度 | ±1%F.S | |||||||||
| 响应时间 | ≤4s | |||||||||
| 工作温度（流量计） | 5-45℃ | |||||||||
| 工作压力 | 进气压力0.05-0.3MPa（表压力） | |||||||||
| 系统连接方式 | 采用KF快速连接波纹管、高真空手动挡板阀及数显真空测量仪 | |||||||||
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中真空
控制系统
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系统真空范围 | 10-100Pa | ||||||||
| 真空泵 | 双级机械泵理论极限真空度3x10-1Pa，抽气速率4L/s，出气口配有油污过滤器，额定电压200V，功率0.55Kw | |||||||||
| 规格 | CVD系统配置 | 1200度开启式真空管式炉（可选配单温区、双温区） 多路质量流量控制系统 真空系统 | ||||||||
| 炉体外型尺寸 |
980mm*600mm*1300mm |
1180mm*600mm*1300mm | ||||||||
| 系统外形尺寸 |
770mm*580mm*778mm |
770mm*580mm*778mm | ||||||||
| 系统总重量 | 270kg | 390kg | ||||||||
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